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Furon系列高純泵
電子半導體行業Slurr研磨液專用泵

Furon® A2泵
基本參數
Furon A2高純泵具有100%的PFA/PTFE接液流體通路,并且不含金屬零件或彈性體密封件,確保與腐蝕性的化學藥品兼容使用。Furon A2泵的泵送速度范圍為4 GPM至16 GPM。如需更高流速,圣戈班還可提供流速高達26 GPM且經久可靠的PFD4泵。針對研磨液可以選用Furon A2泵特殊配置確??量瘫盟蜅l件下的可靠性。研磨液泵配有可防止顆粒物團聚和過早損壞并經過專門設計的波紋管。